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本公开内容涉及用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物和使用其的光致抗蚀剂的剥离方法，所述用于除去光致抗蚀剂的剥离剂组合物在对光致抗蚀剂具有优异的剥离力的同时，具有改善的光致抗蚀剂溶解度并且抑制在剥离过程期间对下部金属膜的腐蚀。对下部金属膜的腐蚀。...
该专利属于株式会社LG化学所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社LG化学授权不得商用。

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