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本发明公开了一种基于辉光溅射制备的材料显微组织三维重构方法,涉及材料分析表征技术领域,包括辉光溅射逐层制备定位、显微组织图像采集定位和显微组织三维重构定位,分别通过以上不同阶段的样品位置定位,从而实现对样品同一位置沿表面深度方向的逐层制备,...该专利属于钢研纳克检测技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过钢研纳克检测技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种基于辉光溅射制备的材料显微组织三维重构方法,涉及材料分析表征技术领域,包括辉光溅射逐层制备定位、显微组织图像采集定位和显微组织三维重构定位,分别通过以上不同阶段的样品位置定位,从而实现对样品同一位置沿表面深度方向的逐层制备,...