下载一种基于辉光溅射制备的材料显微组织三维重构方法的技术资料

文档序号:37667639

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本发明公开了一种基于辉光溅射制备的材料显微组织三维重构方法,涉及材料分析表征技术领域,包括辉光溅射逐层制备定位、显微组织图像采集定位和显微组织三维重构定位,分别通过以上不同阶段的样品位置定位,从而实现对样品同一位置沿表面深度方向的逐层制备,...
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