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本发明属于光刻胶技术领域,公开了一种光刻胶显影液及其制备方法和应用。本发明采用氟化表面活性剂和非氟化表面活性剂与碱液复配,得到光刻胶显影液。本发明制备的光刻胶显影液能够在降低起泡率的基础上,在低用量条件下显著降低显影液的动态和静态表面张力,...该专利属于甘肃华隆芯材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甘肃华隆芯材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明属于光刻胶技术领域,公开了一种光刻胶显影液及其制备方法和应用。本发明采用氟化表面活性剂和非氟化表面活性剂与碱液复配,得到光刻胶显影液。本发明制备的光刻胶显影液能够在降低起泡率的基础上,在低用量条件下显著降低显影液的动态和静态表面张力,...