下载薄膜晶体管、其制造方法及具有薄膜晶体管的平板显示设备的技术资料

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一种薄膜晶体管、其制造方法及具有薄膜晶体管的平板显示设备,其中该薄膜晶体管包括:形成在基板上并且具有沟道区、源区和漏区的半导体氧化物层;通过栅极绝缘层与半导体氧化物层绝缘的栅极;形成在半导体氧化物层的源区和漏区上的欧姆接触层;和通过欧姆接触...
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