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本发明公开了一种晶圆表面清洗装置，其特征在于，包括固定机箱，所述固定机箱内部设置有第一区、第二区、第三区和第四区，所述第一区内设置有固定安装有晶圆搬运装置和晶圆存取装置，所述第二区内设置有晶圆甩干装置，所述第三区内设置有晶圆刷洗装置，所述第...
该专利属于拓思精工科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓思精工科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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