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气相生长装置以及磊晶晶圆的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:37665744
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一种气相生长装置,在承载盘的周围设置预热环。通过承载盘位置变更机构使承载盘升降,而能够变更反应容器本体内的承载盘的高度方向保持位置地加以构成。再者,设置预热环位置变更机构,其以跟随承载盘的高度方向保持位置的变更的方式,而基于预热环的升降变更...
该专利属于爱必克股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱必克股份有限公司授权不得商用。
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