温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种多源在线切换的分子束外延腔体及方法，其特征在于，包括上腔体和下腔体，上腔体分别安装有进样口和上真空抽气口和衬底托架，下腔体分别安装有下真空抽气口，源炉支架一和源炉支架二，上腔体和下腔体之间安装有平板阀门。当开展多层多元化合物分...
该专利属于广东众元半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东众元半导体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。