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快闪存储单元及造成分离侧壁氧化的方法技术
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文档序号:3766251
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本发明是一种快闪存储单元及造成分离侧壁氧化的方法。本发明揭露了一种可使集成电路具有紧密的逻辑电路及/或线性电路区域与紧密的存储区域的制程与产品。在一共同的基板上,一双重硬罩幕处理单独形成了逻辑电路及/或线性电路晶体管以及EEPROM存储晶体...
该专利属于因芬尼昂技术股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术股份公司授权不得商用。
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