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本实用新型公开了一种半导体晶圆生产用通风管道，包括进气管，所述进气管的出气端连接有过滤机构，所述过滤机构上设置有监测组件，所述过滤机构的下端设置有支撑架；本实用新型结构简单，设计合理，实现了对半导体晶圆生产中产生的氯化氢成分做针对性的处理，...
该专利属于江苏晨达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晨达半导体科技有限公司授权不得商用。

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