专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
深圳杰微芯片科技有限公司
>
一种晶圆升降传片装置制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种晶圆升降传片装置的技术资料
文档序号:37658107
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型提供了一种晶圆升降传片装置,包括:晶圆放置架,在其底部形成有边缘部;升降机构,包括底座,沿底座自下而上设有竖直的滚珠丝杆结构,输出端连接有支撑座,支撑座上设置有在两侧布置的支撑板,且在支撑板的内侧设有X轴方向的第一滑槽;本实用新型...
该专利属于深圳杰微芯片科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳杰微芯片科技有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。