下载一种晶圆升降传片装置的技术资料

文档序号:37658107

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本实用新型提供了一种晶圆升降传片装置,包括:晶圆放置架,在其底部形成有边缘部;升降机构,包括底座,沿底座自下而上设有竖直的滚珠丝杆结构,输出端连接有支撑座,支撑座上设置有在两侧布置的支撑板,且在支撑板的内侧设有X轴方向的第一滑槽;本实用新型...
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