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本实用新型涉及一种用于半导体器件测试的测试头,包括:包括金属基座的加热组件;用于移动加热组件的运动组件,包括:底座,其四个角落处的突出部上均设置有竖直嵌入其中的轴承;以及压力推进器,其四个角落处分别具有支撑柱以及突出设置的套管且通过支撑柱耦...该专利属于英特尔产品(成都)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔产品(成都)有限公司授权不得商用。
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