下载一种基于多单元合成式反射镜的功率型发光二极管的制作方法的技术资料

文档序号:3765107

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本发明公开的一种基于多单元合成式反射镜的功率型垂直发光二极管的制作方法,将功率型垂直发光二极管的反射镜微隔离形成多单元合成式反射镜,大幅降低高温焊接过程产生的热应力对Ag与半导体表面粘附力的影响,并进一步在各单元反射镜微隔离带填充等高度的高...
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