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本实用新型公开了一种振膜结构及MEMS麦克风，振膜结构包括：依次层叠的第一多晶硅层、至少一层石墨烯层和第二多晶硅层；其中，所述第一多晶硅层、所述石墨烯层和所述第二多晶硅层均具有波纹结构，所述第一多晶硅层、所述石墨烯层和所述第二多晶硅层的波纹...
该专利属于华景传感科技（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华景传感科技（无锡）有限公司授权不得商用。

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