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本发明提供一种LDI曝光机投影系统检测装置及检测方法，其中的检测装置包括：光棒；DMD芯片模块，其通过一成像结构而与所述光棒的光斑至少部分重合，所述光棒及所述DMD芯片模块均与所述成像结构连接；LDI镜头，其与所述DMD芯片模块对应，所述L...
该专利属于浙江蓝海光学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江蓝海光学科技有限公司授权不得商用。

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