下载超导约瑟夫森结及其制备方法的技术资料

文档序号:37642187

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本发明公开了一种超导约瑟夫森结及其制备方法。制备方法包括:提供衬底,形成光刻胶层于衬底上,光刻胶层具有贯穿且垂直相交的两条沟道,沟道包括上子沟道和宽度大于上子沟道的下子沟道,上子沟道位于下子沟道开口上方,使下子沟道内的衬底被部分遮挡;沿偏离...
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