下载一种掩膜体及金属掩膜版的清洗方法的技术资料

文档序号:37642016

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本发明公开一种掩膜体及金属掩膜版的清洗方法,涉及光伏技术领域,以方便的清洗金属掩膜版,提高金属掩膜版所制作的图案精度。该金属掩膜版的清洗方法包括以下步骤:在金属掩膜版的第一面形成牺牲层,牺牲层的材料为水溶性材料;金属掩膜版的第二面与基板接触...
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