下载一种厚膜光刻胶用氨污染抑制添加剂及其制备方法的技术资料

文档序号:37641970

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本发明公开了一种厚膜光刻胶用氨污染抑制添加剂及其制备方法,还提供了一种光刻胶组合物、其制备方法及其应用。该光刻胶组合物的原料包括:无规共聚物、光致生酸剂、光敏聚合物和有机溶剂。所述无规共聚物为由下述通式Ia、Ib和Ic表示的结构单元组成的重...
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