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检测装置和检测方法制造方法及图纸
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文档序号:37641831
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本申请实施例提供了检测装置和检测方法,检测装置包括:置物台,用于放置被检测单元,被检测单元包括多个拼接的子被检测单元;光线发射组件,用于按照M个出射角度向被检测单元的第一表面发射M条第一光线,M条第一光线与M个出射角度一一对应,M为正整数;...
该专利属于成都辰显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都辰显光电有限公司授权不得商用。
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