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本发明披露了具有较少不一致部分并保持令人满意压电特性的 压电薄膜、使用该压电薄膜的压电元件以及使用该压电元件的喷墨系 统记录头。在通过溶胶凝胶工艺形成在衬底上并由通式Pb(1-x)Lax(Zr yTi1-y)O3(其中0≤x＜1，0.05≤...
该专利属于佳能株式会社;富士化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社;富士化学株式会社授权不得商用。

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