下载流动控制方法的技术资料

文档序号:3764007

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及流动控制方法,具体而言公开了一种用于控制到CMP工具的浆液流的方法,包括:提供预先装有浆液的一次性袋;使该一次性袋定位为与浆液出口流体连通;将CMP工具连接到所述浆液出口;和压陷该一次性袋,以便将浆液以所希望的流率从该一次性袋排出...
该专利属于美国艾默生电气公司所有,仅供学习研究参考,未经过美国艾默生电气公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。