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本发明提供一种内热壁式分子束外延腔体。反应腔体内部上方安装有伸缩传动机构和波纹管，伸缩传动机构和波纹管上安装有托盘加热装置和托盘支架，反应腔体下部安装有石英环，石英环内安装有气体源注入口、真空抽气口、源炉一和源炉二。反应腔下方侧边安装有红外...
该专利属于广东众元半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东众元半导体科技有限公司授权不得商用。

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