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一种椭偏测量系统，包括恒温机构、位移台、入射机构、收光机构、和探测机构。恒温机构，适用于放置待测样品且将待测样品的温度保持在恒温状态；位移台，被构造为可以沿着不同方向伸缩；入射机构，安装在位移台上，适用于使第一线偏振光入射至待测样品上，以使...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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