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本发明涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成，该系统提供了对各种微／纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成电路用金属化互连体箔材料以及各种...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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