薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统及测试方法技术方案

本发明专利技术涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成，该系统提供了对各种微／纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成电路用金属化互连体箔材料以及各种二维薄板类材料进行动态弯曲疲劳性能测试的功能和测试方法，同时可以对被测试样形貌进行原位的实时监测与分析记录。利用通电线圈在恒定磁场中所受的电磁力驱动悬臂梁试样的自由端相对其平衡位置做往复运动，从而对各类材料试样施加各种类型的循环疲劳载荷，且所施加疲劳载荷的精度可以达到毫牛顿量级，本发明专利技术可对各类薄膜材料的疲劳性能及疲劳裂纹扩展行为进行评价。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种薄膜材料动态弯曲疲劳性能测试系统，其特征在于，该测试系统由以下三部分组成：　（１）电磁驱动部分：由电源、永久磁铁、支撑弹簧、线圈和驱动杆组成，电源与线圈电连接，线圈内侧设置永久磁铁，电源产生的交流信号通入线圈，线圈在永久磁铁所产生 的磁场中受到周期性的循环作用力，支撑弹簧的一端固定在基架上，另一端与线圈相连，线圈在循环力的作用下拉、压支撑弹簧，同时带动与线圈相连的驱动杆做往复运动，从而对一端固定、另一端搭载到驱动杆上的悬臂梁试样施加循环弯曲疲劳载荷，驱动杆的上端预先加工成能够适应不同种类薄膜试样尺寸的凹槽；　（２）试样夹持部分：由基架和夹持在其上可自由调节的夹具组成，被测试样的一...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张广平，朱晓飞，张滨，
申请(专利权)人：中国科学院金属研究所，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]