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一种系统、方法和/或非暂时性计算机可读介质可实施或配置成实施与电化学或气相沉积相关的以下计算操作：(a)限定衬底的界面，于此处待发生或正发生沉积材料的沉积；(b)使用沉积的计算模型以确定界面上多个位置处沉积材料的局部沉积速率，其中沉积的计算...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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