下载表面声波器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3763364

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本发明涉及表面声波器件及其制造方法。一种表面声波器件包括:压电基板;设置在所述压电基板的第一表面上的梳状电极;以及设置在所述压电基板的所述第一表面和所述压电基板的与所述第一表面相对的第二表面中的至少一个上的绝缘膜,所述绝缘膜的厚度比所述压电...
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