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一种基于气液异面结构的超薄均热板制造技术
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文档序号:37627915
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本实用新型涉及一种基于气液异面结构的超薄均热板,包括上盖板和下盖板,腔体内灌注有液体工质,腔体内设有多个粉末烧结微柱和微槽蚀刻区域;多个粉末烧结微柱阵列排布于上盖板形成蒸汽通道和支撑结构,每个粉末烧结微柱均含有微小孔洞;微槽蚀刻区域设于下盖...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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