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本实用新型公开了一种新型半导体框架抓取和移栽装置,包括底板、驱动机构和抓取机构,所述底板上安装有驱动机构,所述抓取机构设置有三个,三个所述抓取机构间隔设置在驱动机构上,所述驱动机构包括直驱电机,所述直驱电机包括定子组件和动子组件,所述动子组...该专利属于华恒半导体设备(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华恒半导体设备(苏州)有限公司授权不得商用。
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