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本发明公开了晶圆抓取装置、抛光设备及应用，晶圆抓取装置包括支架，所述支架的下方设置有膜层，所述支架的下端在膜层外侧设置有固定环，所述固定环采用聚四氟乙烯制成，还包括与固定环连通的第一气管，所述固定环的内侧嵌入有环形衬垫，所述环形衬垫在外力作...
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