下载半导体晶圆晶粒二流体清洗机的技术资料

文档序号:37625099

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本实用新型提供半导体晶圆晶粒二流体清洗机,涉及清洗机构技术领域,包括固定支座和箱体,所述固定支座安装于箱体的内部,所述固定支座的表面滑动连接有活动托架,所述活动托架的内部套设有产品摆放架,所述产品摆放架的表面开设有斜槽,所述箱体的顶部固定安...
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