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一种复合离子束检测器制造技术
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下载一种复合离子束检测器的技术资料
文档序号:37624005
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本实用新型属于质谱检测装置技术领域,具体涉及一种复合离子束检测器。本实用新型包括真空腔体,所述真空腔体内部的一端设有离子源,所述离子源前端设有狭缝,所述离子源产生稳定的离子束流,正电荷粒子沿X轴通过狭缝;所述离子束流的飞行路径上设有二次电子...
该专利属于核工业北京地质研究院所有,仅供学习研究参考,未经过核工业北京地质研究院授权不得商用。
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