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本发明公开了一种具有微流道的MEMS封装陶瓷基板及其制备方法、微系统及其应用。本发明提供的MEMS封装陶瓷基板，具有第一微流道、第二微流道和电通道；第一微流道设置于陶瓷基板内部，贯穿陶瓷基板的上表面和下表面的至少一个面；第二微流道沿陶瓷基板...
该专利属于嘉兴兴瓷新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴兴瓷新材料科技有限公司授权不得商用。

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