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本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种导流泵。本实用新型提供的导流泵，将活塞组件向背离吸水口的方向移动时，溶液在负压的作用下，会随着活塞组件的移动进入吸水管内，由于翻盖组件设置在所述吸水腔内，且翻盖组件可自由翻转地设置在所述吸水口上...
该专利属于武汉锐晶激光芯片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉锐晶激光芯片技术有限公司授权不得商用。

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