一种导流泵制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种导流泵。本实用新型专利技术提供的导流泵，将活塞组件向背离吸水口的方向移动时，溶液在负压的作用下，会随着活塞组件的移动进入吸水管内，由于翻盖组件设置在所述吸水腔内，且翻盖组件可自由翻转地设置在所述吸水口上，因此溶液会冲开翻盖组件，并由吸水口进入吸水腔内，当吸水腔内的溶液液面到达排水口的位置后，部分溶液会由排水口排出，此时再将活塞组件朝向吸水口的方向移动，翻盖组件覆盖吸水口，吸水腔内剩下的溶液受到活塞组件的挤压，也由排水口排出，这样一来，通过活塞组件的移动，便可将溶液抽取到吸水腔中，并由排水口排出，从而避免人工倾倒溶液，保障了操作人员的安全。保障了操作人员的安全。保障了操作人员的安全。

【技术实现步骤摘要】
一种导流泵


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别涉及一种导流泵。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域，会常常使用一些危险的化学溶液进行生产。相关技术中，这些化学溶液会储存在大桶中，当需要使用这些化学溶液时，需操作人员手动将其倒出，但这样会对操作人员造成一定的安全隐患。

技术实现思路

[0003]本申请提供了一种导流泵，解决了相关技术中当需要使用化学溶液时，需操作人员手动将化学溶液从桶中倒出，对操作人员造成一定的安全隐患的技术问题。
[0004]本申请提供了一种导流泵，包括：
[0005]主体，内设有吸水腔，所述吸水腔的一端设有吸水口，且所述吸水腔的侧壁上设有排水口；
[0006]翻盖组件，设置在所述吸水腔内，且可自由翻转地设置在所述吸水口上；
[0007]活塞组件，活动设置在所述吸水腔中，且所述活塞组件的周面与所述吸水腔的内壁相接，所述活塞组件与所述吸水口相对设置；
[0008]吸水管，一端与所述吸水口相连，另一端用于吸取待抽取的溶液；
[0009]其中，当所述活塞组件向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导流泵，其特征在于，包括：主体，内设有吸水腔，所述吸水腔的一端设有吸水口，且所述吸水腔的侧壁上设有排水口；翻盖组件，设置在所述吸水腔内，且可自由翻转地设置在所述吸水口上；活塞组件，活动设置在所述吸水腔中，且所述活塞组件的周面与所述吸水腔的内壁相接，所述活塞组件与所述吸水口相对设置；吸水管，一端与所述吸水口相连，另一端用于吸取待抽取的溶液；其中，当所述活塞组件向背离所述吸水口的方向移动时，所述溶液在负压的作用下冲开所述翻盖组件，由所述吸水口进入所述吸水腔内，部分所述溶液由所述排水口排出；当所述活塞组件朝向所述吸水口的方向移动时，所述翻盖组件覆盖所述吸水口，所述吸水腔内剩下的溶液由所述排水口排出。2.如权利要求1所述的导流泵，其特征在于，所述导流泵还包括驱动组件，所述驱动组件设置在所述主体背离所述吸水口的一侧，所述驱动组件包括驱动件和传动件，所述驱动件与所述传动件传动连接，所述传动件与所述活塞组件传动连接，所述驱动件可通过所述传动件带动所述活塞组件朝向或背离所述吸水口的方向移动。3.如权利要求2所述的导流泵，其特征在于，所述活塞组件包括连接杆和活塞，所述活塞的周面与所述吸水腔的内壁相接，且部分所述活塞为弹性材料；所述传动件包括传动部和转动部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚博文，李明，王虎，程谦，胡韵爽，贺慧婷，徐马记，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：