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本公开提供了一种热处理系统和温度测量方法。该热处理系统包括用于测量工件在热处理的过程中的温度的测量系统,该测量系统包括向工件的第一表面发射具有第一波长的脉冲光线的发射器,以及第一探测器,该第一探测器可根据接收的第一表面反射的脉冲光线来测量工...该专利属于北京屹唐半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京屹唐半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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本公开提供了一种热处理系统和温度测量方法。该热处理系统包括用于测量工件在热处理的过程中的温度的测量系统,该测量系统包括向工件的第一表面发射具有第一波长的脉冲光线的发射器,以及第一探测器,该第一探测器可根据接收的第一表面反射的脉冲光线来测量工...