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本发明涉及一种冲洗组合物及其光刻胶图案形成方法。冲洗组合物包含含氟表面活性剂、含有羟基的水溶性物质和水。所述组合物适用于光刻显影后对光刻胶图案的冲洗过程，防止光刻胶图案的倒塌和缺陷产生，用于进一步提高图案分辨率。分辨率。
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该专利属于甘肃华隆芯材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甘肃华隆芯材料科技有限公司授权不得商用。

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