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本发明涉及多次曝光图案分解系统和方法，具体涉及一种用于识别不满足制造限制的设计布局中的图案的错误标记的方法和系统。一些实施例从错误标记区域扩展区域，以提取用于分解分析的图案。一些实施例将已提取的图案与库中存储的已知图案进行比较，库中还为各个...
该专利属于凯登斯设计系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凯登斯设计系统有限公司授权不得商用。

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