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本发明涉及一种微环谐振腔的硅基电光调制器,其包括:微环谐振腔以及直波导,微环谐振腔包括内环和外环,所述内环与所述外环均为封闭的圆环,且所述内环与所述外环的圆心位于同一点,所述内环与所述外环上均设有掺杂区,掺杂区包括P型掺杂区与N型掺杂区;所...该专利属于武汉光谷信息光电子创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光谷信息光电子创新中心有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种微环谐振腔的硅基电光调制器,其包括:微环谐振腔以及直波导,微环谐振腔包括内环和外环,所述内环与所述外环均为封闭的圆环,且所述内环与所述外环的圆心位于同一点,所述内环与所述外环上均设有掺杂区,掺杂区包括P型掺杂区与N型掺杂区;所...