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本发明提供一种双面压电层的微机械结构及其加工工艺，所述微机械结构包括：具有第一振膜的结构层；具有第三金属层和第四金属层的第二振膜，设置于所述结构层上远离所述第一振膜的一侧；以及具有第五金属层和第六金属层的基底，设置于所述第二振膜上，且所述第...
该专利属于合肥领航微系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥领航微系统集成有限公司授权不得商用。

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