专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
华邦电子股份有限公司
>
半导体装置及其形成方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载半导体装置及其形成方法的技术资料
文档序号:37612201
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明实施例公开了一种半导体装置及其形成方法,包括:基板、一对源极/漏极区、含金属层及栅极结构。基板具有沟槽。源极/漏极区设置于沟槽两侧的基板中。含金属层设置于沟槽下方,含金属层与沟槽的相对侧壁上的基板共同构成半导体装置的沟道区。栅极结构设...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。