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本实用新型公开了一种用于半导体晶片的清洗干燥一体机，属于超声清洗干燥技术领域。其技术方案为：包括箱体本体和控制器，箱体本体内设置有传送单元、清洗单元和干燥单元；所述传送单元包括同步轮和与同步轮相适配的同步带，同步轮固设在箱体本体上，同步轮包...
该专利属于青岛融合装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛融合装备科技有限公司授权不得商用。

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