下载一种光致发光薄膜离子注入改性的制备方法的技术资料

文档序号:37610489

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本发明公开了一种光致发光薄膜离子注入改性的制备方法,向光致发光薄膜注入非金属离子,后在气氛氛围中进行退火处理;所述非金属离子包括硼、氟、磷、氩以及砷中的至少一种;所述非金属离子的注入剂量为1
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该专利属于中国工程物理研究院电子工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院电子工程研究所授权不得商用。

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