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本发明涉及一种提升含碳气体吸气容量的吸气薄膜，通过PVD方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷的基底表面沉积0.1
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该专利属于南京华东电子真空材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京华东电子真空材料有限公司授权不得商用。

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