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一种体声波谐振器及包括其的封装组件和电子设备制造技术
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下载一种体声波谐振器及包括其的封装组件和电子设备的技术资料
文档序号:37610040
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本实用新型提供一种体声波谐振器及包括其的封装组件和电子设备,体声波谐振器包括:衬底、谐振结构、声波反射结构、集成电容以及至少两个键合焊盘,谐振结构包括上电极、压电层和下电极;声波反射结构形成在衬底中或衬底上;声波反射结构和谐振结构之间的重叠...
该专利属于苏州汉天下电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州汉天下电子有限公司授权不得商用。
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