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本发明提供一种图像传感器及形成方法,通过从背面至少刻蚀内设于衬底的正面沟槽隔离结构的底部以形成背面沟槽,并采用消光材料至少部分填充所述背面沟槽以形成背面沟槽隔离结构。入射光经所述背面沟槽隔离结构部分或全部反射,所述消光材料可以包括折射率小于...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种图像传感器及形成方法,通过从背面至少刻蚀内设于衬底的正面沟槽隔离结构的底部以形成背面沟槽,并采用消光材料至少部分填充所述背面沟槽以形成背面沟槽隔离结构。入射光经所述背面沟槽隔离结构部分或全部反射,所述消光材料可以包括折射率小于...