下载一种手持式探针校准装置及校准方法的技术资料

文档序号:37609560

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本发明公开了一种手持式探针校准装置及校准方法,包括:校准块,校准块上设置有至少六处用于放置探针尖端的凹槽点,且其中任意三点不共线;光学参考阵列,所述光学参考阵列远离所述校准块且与所述校准块刚性连接;手持式探针,其通过探针针尖接触所述凹槽点来...
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