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一种废旧靶材再利用处理机构制造技术
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下载一种废旧靶材再利用处理机构的技术资料
文档序号:37609002
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本实用新型涉及一种废旧靶材再利用处理机构,包括靶材本体,所述靶材本体的中部设置有消耗区域,所述靶材本体的四个转角处均设置有未消耗区域,所述靶材本体的内部设置有替换机构,所述替换机构包括第一空腔、拼接块、定位销、弹簧、第二空腔、插槽和定位孔。...
该专利属于苏州浩联光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州浩联光电科技有限公司授权不得商用。
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