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检查装置及磁传感器的检查方法制造方法及图纸
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文档序号:37608834
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本发明提供一种检查装置,其具备:具有载置面的载置台、和第一磁场产生器及第二磁场产生器。第一磁场产生器以能够使其姿势变化,并且单独地产生第一磁场的方式构成。第二磁场产生器以能够使其姿势变化,并且单独地产生第二磁场的方式构成。第一磁场产生器和第...
该专利属于TDK株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TDK株式会社授权不得商用。
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