本发明专利技术提供一种检查装置，其具备：具有载置面的载置台、和第一磁场产生器及第二磁场产生器。第一磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第一磁场的方式构成。第二磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第二磁场的方式构成。第一磁场产生器和第二磁场产生器以协动地产生合成磁场的方式构成。生器以协动地产生合成磁场的方式构成。生器以协动地产生合成磁场的方式构成。
【技术实现步骤摘要】
检查装置及磁传感器的检查方法
[0001]本专利技术涉及用于检查磁传感器的检查装置及磁传感器的检查方法。
技术介绍
[0002]近年来，在各种用途中，在利用使用了磁阻效应元件的磁传感器。在包含磁传感器的系统中，有时希望通过设置于基板上的磁阻效应元件来检测垂直于基板面的方向的磁场(以下，称为垂直磁场)。在这种情况下，通过设置将垂直磁场转换为平行于基板面的方向的磁场的软磁性体，或者将磁阻效应元件配置在形成于基板上的倾斜面上，能够检测垂直磁场。
[0003]为了将磁传感器出厂到市场，在制造时或出厂前，需要检查磁传感器的输出特性。在磁传感器的检查中，将假定了磁传感器的检测对象的磁场的磁场施加给磁传感器，检查磁传感器的输出特性。在以能够检测垂直磁场的方式构成的磁传感器的情况下，在磁传感器的检查中，需要对磁传感器施加垂直磁场。
[0004]日本国专利申请公开2021
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67503号公报公开了一种具备具有对称性的两个线圈的磁传感器的检查装置。在该检查装置中，通过使用继电器来任意切换两个线圈各自的通电方向，在Z方向及X方向这两个方向上切换产生磁场。
[0005]在磁传感器的输出特性中，存在像线性或滞后性等那样根据连续改变了磁场时的磁传感器的输出而得到的特性。但是，在日本国专利申请公开2021
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67503号公报公开的检查装置中，因为不能连续地使磁场变化，所以不能检查像线性或滞后性等那样的特性。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于，提供一种能够使磁场连续变化的检查装置及磁传感器的检查方法。
[0007]本专利技术的检查装置是对磁传感器施加磁场而检查磁传感器的输出的检查装置。本专利技术的检查装置具备：载置台，其具有用于载置磁传感器的载置面；第一磁场产生器及第二磁场产生器，其分别在垂直于载置面的方向上相对于载置面隔开规定的间隔而配置。
[0008]第一磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第一方向的第一磁场。第二磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第二方向的第二磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器构成为协动地产生对磁传感器施加的磁场，即包含相对于与载置面垂直的假想平面平行的方向的分量的合成磁场。
[0009]在本专利技术的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以构成为协动地使合成磁场的方向变化，以使合成磁场的方向相对于与载置面平行的一个方向所成的角度变化。
[0010]另外，在本专利技术的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别能够使相对于磁传感器的相对位置变化。
[0011]另外，在本专利技术的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别为磁铁。在这种情况下，磁铁的N极和S极也可以沿着相对于与载置面垂直的方向倾斜的方向排列。
[0012]另外，在本专利技术的检查装置中，磁传感器也可以具备：具有由平面构成的主面的基板、磁检测元件。磁检测元件也可以构成为检测包含垂直于主面的方向的分量的对象磁场。磁传感器也可以以主面与载置面平行的方式载置于载置面。
[0013]本专利技术的磁传感器的检查方法包含：在载置台的载置面上载置磁传感器；在垂直于载置面的方向上，相对于载置面隔开规定的间隔而配置第一磁场产生器，该第一磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第一方向的第一磁场；在垂直于载置面的方向上，相对于载置面隔开规定的间隔而配置第二磁场产生器，该第二磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第二方向的第二磁场；使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地产生对磁传感器施加的磁场，即包含垂直于载置面的方向的分量的合成磁场；检查磁传感器的输出。
[0014]本专利技术的磁传感器的检查方法也可以使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地而使合成磁场的方向变化，以使合成磁场的方向相对于与载置面平行的一个方向所成的角度变化。
[0015]另外，本专利技术的磁传感器的检查方法也可以包含：使第一磁场产生器和第二磁场产生器各自相对于磁传感器的相对位置变化。
[0016]另外，在本专利技术的磁传感器的检查方法中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别为磁铁。在这种情况下，本专利技术的磁传感器的检查方法也可以包含：以磁铁的N极和S极沿着相对于与载置面垂直的方向倾斜的方向排列的方式配置第一磁场产生器和第二磁场产生器。
[0017]另外，在本专利技术的磁传感器的检查方法中，磁传感器也可以具备：具有由平面构成的主面的基板、磁检测元件。磁检测元件也可以构成为检测包含垂直于主面的方向的分量的对象磁场。在这种情况下，本专利技术的磁传感器的检查方法也可以包含：以主面与载置面平行的方式在载置面上载置磁传感器。
[0018]在本专利技术的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器构成为协动地产生合成磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器分别能够使其姿势变化。由此，根据本专利技术，可实现能够使磁场连续变化的检查装置。
[0019]另外，在本专利技术的磁传感器的检查方法中，使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地产生合成磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器分别能够使其姿势变化。由此，根据本专利技术，可实现能够使磁场连续变化的检查方法。
[0020]本专利技术的其他目的、特征及利益通过以下说明将会变得充分清楚。
附图说明
[0021]图1是表示本专利技术一实施方式的检查装置的整体结构的说明图。
[0022]图2是表示本专利技术一实施方式的检查装置的主要部分的俯视图。
[0023]图3是表示本专利技术一实施方式的检查装置的主要部分的侧视图。
[0024]图4是用于对本专利技术一实施方式的检查装置的动作进行说明的说明图。
[0025]图5是用于对本专利技术一实施方式的检查装置的动作进行说明的说明图。
[0026]图6是用于对本专利技术一实施方式的合成磁场进行说明的说明图。
[0027]图7是表示通过本专利技术一实施方式的检查装置来检查的磁传感器的第一例的立体图。
[0028]图8是表示通过本专利技术一实施方式的检查装置来检查的磁传感器的第二例的立体图。
[0029]图9是表示本专利技术一实施方式的检查方法的流程图。
具体实施方式
[0030]下面，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明。首先，参照图1至图3对本专利技术一实施方式的检查装置1的结构进行说明。图1是表示检查装置1的整体结构的说明图。图2是表示检查装置1的主要部分的俯视图。图3是表示检查装置1的主要部分的侧视图。
[0031]本实施方式的检查装置1是对磁传感器施加磁场而检查磁传感器的输出的装置。如图1至图3所示，检查装置1具备载置台2、第一磁场产生器3、以及第二磁场产生器4。
[0032]载置台2具有用于载置磁传感器的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其特征在于，是对磁传感器施加磁场而检查所述磁传感器的输出的检查装置，具备：载置台，其具有用于载置所述磁传感器的载置面；以及第一磁场产生器及第二磁场产生器，其分别在与所述载置面垂直的方向上相对于所述载置面隔开规定的间隔而配置，所述第一磁场产生器，以能够使其姿势变化，并且单独地产生第一磁场的方式构成，所述第一磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜，所述第二磁场产生器，以能够使其姿势变化，并且单独地产生第二磁场的方式构成，所述第二磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜，所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器，以协动地产生合成磁场的方式构成，所述合成磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，包含相对于与所述载置面垂直的假想平面平行的方向的分量。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器，协动地以使所述合成磁场的方向相对于与所述载置面平行的一个方向所成的角度变化，而使所述合成磁场的方向变化的方式构成。3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器分别能够使相对于所述磁传感器的相对位置变化。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器分别为磁铁。5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，所述磁铁的N极和S极沿着相对于与所述载置面垂直的方向倾斜的方向排列。6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述磁传感器具备：具有由平面构成的主面的基板、和磁检测元件，所述磁检测元件以检测包含与所述主面垂直的方向的分量的对象磁场的方式构成，所述磁传感器以所述主面与所述载置面平行的方式载置于所述载置面。7.一种磁传感器的检查方法，其特征在于，包含：将磁传感器载置于载置台...
【专利技术属性】
技术研发人员：渡部司也，平林启，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：
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