下载优化的接触结构的技术资料

文档序号:37608348

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公开了优化的接触结构及其制作技术。至少一个方面包括半导体裸片。半导体裸片包括衬底和布置在衬底内的接触。接触包括具有第一竖直截面的第一部分,第一竖直截面具有第一截面区域。第一竖直截面具有第一宽度和第一高度。接触还包括具有第二竖直截面的第二部分...
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